�������漰�ķ�������ҳ����������ϵ�����ܽ�����ɢ�����е�ϸс�������������������������ķѻ�״̬�������塣
���ݳ���ij�ͬ����������ϵ�ɷ�ϊ���ࣺ��ɢ�եĺ������եġ�
��ɢ�եij���һ���ϊ�۳��ң��ǽ������������ĥ�ɷ�ĩ��һ�������ĭ���ɣ�������������еԭ����ʹ�����һ���ϊ�����������υ���������у��۳���ͨ������1υm��
�����եij���ϵ����������ʵ�����ۣ������������������������ѧ��ӧ���á�����������������ij�ϊ�̣�һ��ij�ϊ�������ȼ���ͱ������ɵ��ȼ�泥�����������ˮ�������ɵ�������������¯���еķ۳�ҳ�����ࡣ�������ij�����сͨ����0.01��10υm֮�䡣
���ڳ����������ɴ��с������������ϵ���ɷǿ�һϵͳת��ϊ��һϵͳ����ϊ����с��0.2��0.3υmʱ�������˶��ͱ�������ˣ�����������弰�����ӵ��������դ�0.005υm��������0.001��0.2υm�ķ�ɢ��ϵ��������һ���롣���ڳ�����с��ͬ�����γɲ�ͬ���ʵ���ϵ����˲ⶨ�����ķ����ʹӷ�ɢ��ϵ�г�ȥ�����ķ���ҳ�ͳ�ͬ�������կ������ֳ����豸������χ��һ���̶ȵľ��棬��������ѡ���豸����ҫ���ճ�����с�����һ�ҫ�����������۳�ũ�ȼ��۳���������ѧ���ʵ����ض�����
ϊ����ȷ����ƺ�ѡ������豸���������շ۳��ĸ���������ѧ���ʼ��۳�ũ�ȵȣ��ա�ȷ�������̵���������������ռ�ֵ�ͷ�����ʩ��
